Moddalarni optik spektrining qisqa to‘lqinli ko‘rinadigan qismiga yondosh sohasini tekshirish bilan shug‘ulanadigan spektroskopiyaga ultrabinafsha spektroskopiya deyiladi. Ultrabinafsha spektroskopiya elektronlarning bir energiya pog‘onasidan boshqa energiya pog‘onasiga o‘tishiga asoslangan.